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PPN:
104209097
Titel:
Fundamentals of microfabrication
: the science of miniaturization / Marc J. Madou
Verantwortlich:
Madou, Marc J.
Ausgabe:
2. ed.
Erschienen:
Boca Raton [u.a.] : CRC Press, 2002
Umfang:
723 S. : zahlr. Ill. und graph. Darst.
Anmerkung:
Literaturangaben
ISBN:
0-8493-0826-7
RVK-Notation:
ZN 4900
:
Fertigungstechnik
Lithografie, Halbleitertechnologie
Mikrosystemtechnik
Mikrofertigung
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